適用于:SMA、VCM高度差檢測
特點:
Tray盤不停機自動上下料系統(tǒng)
3D鐳射線掃描檢測DUT高度差
可視化軟件界面
檢測精度:
X軸:0.0183-0.0227mm
Z軸:0.002mm
UPH:1600 pcs/hr